场发射扫描电镜

型号：Zeiss Gemini 500

1.装备高稳定肖特基场发射枪、Elstar超高分辨场发射镜筒和磁浸没物镜电子光学系统。

2.SEM分辨率：0.6 nm@15 kV；1.0nm@1 kV。

3.STEM分辨率：0.5 nm@30 kV。

4.Ga离子源，Tomahawk HT离子镜筒，FIB分辨率：2.5 nm@30 kV；连续加工精度3 nm。

5.四路气体沉积系统：Pt、C、W、XeF₂。

6.探测器种类：ETD、TLD、ICD、MD、DBS、伸缩式STEM探测器BF/DF/HAADF。

7.配备Bruker XFlash 6|60能谱仪。

8.能够分析纵面结构和成分。

9.透射成像，满足部分材料透射测试需求。

10.具有微纳结构表征与加工、自动制备高质量TEM样品功能。

纳米金颗粒SEM图像   （500 V）

蝉翅膀表面微结构

联系人：毛永云 (20210141@ynu.edu.cn)

杨杰 (20130055@ynu.edu.cn)