SEM-FIB双束电镜

型号：Thermofisher Helios 5 CX

1. 装备高稳定肖特基场发射枪、Elstar超高分辨场发射镜筒和磁浸没物镜电子光学系统。

2. SEM分辨率：0.6 nm@15 kV；1.0nm@1 kV。

3. STEM分辨率：0.5 nm@30 kV。

4. Ga离子源，Tomahawk HT离子镜筒，FIB分辨率：2.5 nm@30 kV；连续加工精度3 nm。

5. 四路气体沉积系统：Pt、C、W、XeF₂。

6. 探测器种类：ETD、TLD、ICD、MD、DBS、伸缩式STEM探测器BF/DF/HAADF。

7. 配备Bruker XFlash 6|60能谱仪。

8. 能够分析纵面结构和成分。

9. 透射成像，满足部分材料透射测试需求。

10. 具有微纳结构表征与加工、自动制备高质量TEM样品功能。

表面形貌

微纳加工

截面分析

透射制样

联系人：杨杰(20130055@ynu.edu.cn)

                   毛永云(20210141@ynu.edu.cn)